SPECTRUM 11002-00

射频能量产生:产生高频、高功率的射频能量。

功率调节:可以调节输出功率,以满足不同的工艺需求。

频率调节:可以调节输出频率,以适应不同的工艺要求。

保护功能:具有过流、过压、过热等多种保护功能,确保设备的安全运行。

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描述

SPECTRUM 11002-00是一款高功率射频发生器,主要应用于工业领域,如半导体制造、等离子体处理等。它能够产生高频、高功率的射频能量,用于加热、激发等多种工业过程。

SPECTRUM 11002-00

主要特点

高功率输出:该设备能够输出高达11000瓦的射频功率,满足高功率应用的需求。

频率范围宽:工作频率范围为1.8-2.17MHz,适应不同的工艺要求。

稳定性高:具有出色的频率稳定性和功率稳定性,保证工艺过程的稳定性。

可靠性强:采用工业级设计,具有较高的可靠性,适合长时间连续工作。

主要功能

射频能量产生:产生高频、高功率的射频能量。

功率调节:可以调节输出功率,以满足不同的工艺需求。

频率调节:可以调节输出频率,以适应不同的工艺要求。

保护功能:具有过流、过压、过热等多种保护功能,确保设备的安全运行。

应用领域

半导体制造:用于晶圆加热、等离子体刻蚀等工艺。

等离子体处理:用于等离子体清洗、镀膜等工艺。

材料加热:用于材料的熔炼、焊接等。

其他工业领域:在航空航天、汽车等领域也有广泛应用。

技术参数

输出功率:11000W

频率范围:1.8-2.17MHz

调制方式:AM/FM

冷却方式:强制风冷

尺寸和重量:根据具体型号而定

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