描述
ZYGO 8070-0279-01 产品详情
概述
ZYGO 8070-0279-01 是一款表面形貌测量设备,用于测量光学元件、半导体、光学薄膜等高精度表面的形貌。它采用干涉测量技术,可以提供高精度、高分辨率的表面形貌数据。该设备具有以下特点:
- 高精度: 测量精度优于 0.1 nm
- 高分辨率: 测量分辨率优于 1 μm
- 大测量范围: 测量范围可达 100 mm x 100 mm
- 非接触测量: 无需接触样品表面,避免损坏样品
- 快速测量速度: 测量速度可达 10 fps
- 易于使用: 软件界面友好,操作简单
应用
ZYGO 8070-0279-01 广泛应用于以下领域:
- 光学元件制造: 用于测量光学镜片、棱镜、反射器等光学元件的表面形貌
- 半导体制造: 用于测量晶圆、掩模等半导体器件的表面形貌
- 光学薄膜涂覆: 用于测量光学薄膜的厚度和均匀性
- 精密机械加工: 用于测量精密机械零件的表面形貌
- 科研实验: 用于研究材料表面形貌与光学性能的关系
规格
- 光源: 氦氖激光器
- 波长: 632.8 nm
- 测量范围: 100 mm x 100 mm
- 测量精度: 优于 0.1 nm
- 测量分辨率: 优于 1 μm
- 测量速度: 10 fps
- 软件: ZYGO MetroPro 软件