ZYGO 8070-0279-01

ZYGO 8070-0279-01 产品详情

概述

ZYGO 8070-0279-01 是一款表面形貌测量设备,用于测量光学元件、半导体、光学薄膜等高精度表面的形貌。它采用干涉测量技术,可以提供高精度、高分辨率的表面形貌数据。该设备具有以下特点:

  • 高精度: 测量精度优于 0.1 nm
  • 高分辨率: 测量分辨率优于 1 μm
  • 大测量范围: 测量范围可达 100 mm x 100 mm
  • 非接触测量: 无需接触样品表面,避免损坏样品
  • 快速测量速度: 测量速度可达 10 fps
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描述

ZYGO 8070-0279-01 产品详情

概述

ZYGO 8070-0279-01 是一款表面形貌测量设备,用于测量光学元件、半导体、光学薄膜等高精度表面的形貌。它采用干涉测量技术,可以提供高精度、高分辨率的表面形貌数据。该设备具有以下特点:

  • 高精度: 测量精度优于 0.1 nm
  • 高分辨率: 测量分辨率优于 1 μm
  • 大测量范围: 测量范围可达 100 mm x 100 mm
  • 非接触测量: 无需接触样品表面,避免损坏样品
  • 快速测量速度: 测量速度可达 10 fps
  • 易于使用: 软件界面友好,操作简单

应用

ZYGO 8070-0279-01 广泛应用于以下领域:

  • 光学元件制造: 用于测量光学镜片、棱镜、反射器等光学元件的表面形貌
  • 半导体制造: 用于测量晶圆、掩模等半导体器件的表面形貌
  • 光学薄膜涂覆: 用于测量光学薄膜的厚度和均匀性
  • 精密机械加工: 用于测量精密机械零件的表面形貌
  • 科研实验: 用于研究材料表面形貌与光学性能的关系

规格

  • 光源: 氦氖激光器
  • 波长: 632.8 nm
  • 测量范围: 100 mm x 100 mm
  • 测量精度: 优于 0.1 nm
  • 测量分辨率: 优于 1 μm
  • 测量速度: 10 fps
  • 软件: ZYGO MetroPro 软件