LAM 839-101612-885

描述

产品概述

LAM 839-101612-885是一款由LAM Research Corporation生产的用于晶圆制造设备的电磁卡盘。该卡盘用于固定和旋转晶圆，使其能够进行蚀刻、沉积和其他工艺步骤。该卡盘以其高精度、高可靠性和高速度而著称。

产品规格

参数值

型号839-101612-885

晶圆尺寸8英寸

负载能力25公斤

旋转速度0-4000 rpm

加速度5 g

精度±5微米

可靠性MTBF>10,000小时

速度快速

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功能特点

高精度:该卡盘具有高精度，可确保晶圆的精确定位和旋转。

高可靠性:该卡盘采用高品质的元件和严格的质量控制流程制造，可确保其具有极高的可靠性。

高速度:该卡盘具有快速的速度，可满足高吞吐量应用的需求。

易用性:该卡盘具有直观的接口和易于使用的软件，可方便用户进行操作。

多种可选配置:该卡盘提供多种可选配置，可满足不同的应用需求。

应用领域

LAM 839-101612-885电磁卡盘通常应用于以下晶圆制造工艺：

蚀刻:用于去除晶圆上的多余材料。

沉积:用于在晶圆上沉积一层材料。

扩散:用于将掺杂剂扩散到晶圆中。

光刻:用于将图案转移到晶圆上。

清洗:用于清洁晶圆表面。

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