LAM 719-101612-887 静电吸盘组件

描述

概述

LAM 719-101612-887是一款用于等离子体刻蚀机的静电吸盘组件。它由多种部件组成，包括：

基板

吸盘

真空管路

电源供应

控制单元

719-101612-887组件用于将晶圆牢固地吸附在等离子体刻蚀机的腔室中，以便进行刻蚀工艺。该组件具有以下特点：

高精度：可确保晶圆的精确定位，从而获得均匀的刻蚀效果。

高可靠性：采用可靠耐用的设计，可确保长期可靠运行。

易于维护：易于拆卸和更换部件。

应用

719-101612-887组件适用于各种等离子体刻蚀机，用于刻蚀各种类型的晶圆材料，包括硅、砷化镓、氮化镓等。

规格

基板尺寸：Ø200 mm

吸盘数量：12个

真空管路：不锈钢

电源供应：24 V DC

控制单元：可编程逻辑控制器(PLC)

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销售:曹经理
交货时间:现货，付款后3-5天
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状态:库存，全新
付款方式:电汇，30%定金，70%余款
价格:请联系我们进一步查询。所有报价都是不含税的出厂价。
备注:本设备不包括其他附件、手册、电缆、校准数据、软件等，除非在上述库存项目说明中列出。
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