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INFICON MPG400 PN351-011产品详情
概述
INFICON MPG400 PN351-011是由INFICON公司生产的真空计控制器，用于测量和控制真空系统中的压力。它具有以下特点：
高精度：采用先进的传感技术，测量精度高，可满足各种真空应用的需求。
快速响应：响应速度快，能够快速跟踪压力变化，实现精准的压力控制。
多种功能：提供多种功能，如数据记录、报警、通信等，方便用户使用和管理。
易于使用：操作简单，易于配置和维护。
功能
压力测量：测量真空系统中的压力，并显示在控制器上。
压力控制：控制真空系统中的压力，使其保持在设定值范围内。
数据记录：记录压力数据，方便用户分析和诊断。
报警：当压力超出设定范围时，发出报警信号，提醒操作人员采取措施。
通信：可与其他设备进行通信，实现系统的集成控制。
主要功能
为真空系统提供高精度、快速响应、多种功能且易于使用的压力测量和控制功能。
满足各种真空应用的需求，可广泛应用于半导体制造、薄膜沉积、分析仪器等领域。
应用
INFICON MPG400 PN351-011可应用于以下领域：
半导体制造：用于控制半导体制造过程中的真空环境，确保芯片制造工艺的稳定性和产品质量。
薄膜沉积：用于控制薄膜沉积过程中的真空环境，确保薄膜的均匀性和质量。
分析仪器：用于控制分析仪器中的真空环境，确保分析结果的准确性和可靠性。
其他真空应用：用于其他真空应用。
典型应用
在半导体制造行业，INFICON MPG400 PN351-011可用于控制刻蚀、扩散、沉积等半导体制造过程中的真空环境，确保芯片制造工艺的稳定性和产品质量。
在薄膜沉积领域，INFICON MPG400 PN351-011可用于控制磁性薄膜、光学薄膜等薄膜的沉积过程，确保薄膜的均匀性和质量。
在分析仪器领域，INFICON MPG400 PN351-011可用于控制质谱仪、电子显微镜等分析仪器中的真空环境，确保分析结果的准确性和可靠性。
技术规格
测量范围：10^{-10}至1000 Torr
精度：±2%满量程
响应时间：<1秒
通信接口：RS-232、RS-485
工作温度：0°C至50°C
存储温度：-20°C至70°C
防护等级：IP40
