描述
AMAT 0090-00224
AMAT 0090-00224产品描述
产品概述
AMAT 0090-00224是一款用于半导体制造的蚀刻腔体。它具有以下特点:
高精度:采用先进的蚀刻工艺,可实现高精度的蚀刻结果。
高效率:蚀刻速度快,生产效率高。
高均匀性:蚀刻均匀性好,可确保产品质量。
易于使用:操作简单,维护方便。
产品规格
型号:AMAT 0090-00224
蚀刻工艺:RIE
蚀刻室尺寸:100mm x 100mm
蚀刻速度:10μm/min
蚀刻均匀性:±1%
电源:220V AC
功耗:1kW
尺寸:1200mm x 800mm x 600mm
重量:500kg
产品应用
半导体制造
微电子制造
光学元件制造
其他需要蚀刻工艺的应用领域