描述
产品名称:AMAT 0190-30354 Producer GT UV Chamber
产品概述:
AMAT 0190-30354 Producer GT UV Chamber是一款用于半导体制造工艺中的紫外光刻刻蚀装置。它采用高精度光学系统和高强度紫外光源,可实现精确的图案转移和高深宽比的刻蚀。该装置适用于各种类型的半导体器件制造,包括集成电路、微电子机械系统(MEMS)和光电器件。
产品特点:
高精度:采用高精度光学系统,可实现精确的图案转移。
高深宽比:采用高强度紫外光源,可实现高深宽比的刻蚀。
高可靠性:采用成熟的工艺技术,确保产品的稳定性和可靠性。
易于使用:提供友好的人机界面,方便操作和维护。
产品规格:
光源:汞灯或氪灯
波长:193nm、248nm、355nm等
功率:可定制
曝光面积:可定制
分辨率:可定制
深宽比:可定制
产品应用:
集成电路制造
微电子机械系统(MEMS)制造
光电器件制造
其他半导体器件制造
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销售:曹经理
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状态:库存,全新
付款方式:电汇,30%定金,70%余款
价格:请联系我们进一步查询。所有报价都是不含税的出厂价。
备注:本设备不包括其他附件、手册、电缆、校准数据、软件等,除非在上述库存项目说明中列出。
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