5517B Agilent高精度激光干涉仪

描述

5517B Agilent

产品介绍

Agilent 5517B 是一款高精度激光干涉仪，适用于多种应用领域，如半导体制造和精密加工等。该仪器可提供高达 20nm 的分辨率，使得其非常适合精密测量。

技术说明

Agilent 5517B 激光干涉仪基于 Michelson 干涉仪原理，使用 He-Ne 气体激光器。该仪器配备了高精度的位移测量系统和自动温度控制系统，从而能够提供稳定和准确的测量结果。

产品说明

Agilent 5517B 激光干涉仪包括主机、激光头、控制器、显示器和键盘。它可以测量长度、位移和振动等参数，适用于多种应用。

产品参数

• 分辨率：20nm
• 激光波长：632.8nm
• 工作温度：15-35°C
• 重量：约 15kg

产品规格

• 工作电压：100-240V AC，50/60Hz
• 功耗：约 120W
• 接口：RS-232，GPIB

应用领域

Agilent 5517B 激光干涉仪适用于多种应用领域，如：

• 半导体制造
• 精密加工
• 光学测量

常见问题解答

问题 1：如何校准 Agilent 5517B？

答：请参考产品手册中的校准说明。

问题 2：如何使用 Agilent 5517B 进行长度测量？

答：请参考产品手册中的操作说明。

问题 3：Agilent 5517B 可以测量的位移范围是多少？

答：Agilent 5517B 可以测量的位移范围为 ±5mm。

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