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描述:
ZYGO ZMI-2002 8020-0211-1-J激光系统测量板卡。Zygo是一家总部位于康涅狄格州米德尔菲尔德的专业光学系统和设备制造商。他们的计量产品线包括使用相干扫描干涉法的三维测量显微镜、用于测试光学元件的激光斐索干涉仪、激光位移干涉仪和用于载物台位置计量的外差光学编码器（ZYGO ZMI-2002卡模块）
其他主营型号
PM891K02冗余控制器单元PM891K02 3BSE053242R1
SB822可充电电池(外置)SB822 3BSE018172R1
PM857K01控制器单元PM857K01 3BSE088385R1
PM857K02冗余控制器单元PM857K02 3BSE088386R1
PM863K01控制器单元PM863K01 3BSE088381R1
PM863K02冗余控制器单元PM863K02 3BSE088382R1
PM867K01控制器单元PM867K01 3BSE076355R1
PM867K02冗余控制器单元PM867K02 3BSE081638R1
安全CPU模块SM811K01 3BSE018173R1
安全CPU模块.配合PM867使用SM812K01 3BSE072270R1
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