CM330 LEYBOLD涡旋分子泵

描述

CM330 LEYBOLD涡旋分子泵

产品参数

• 泵速：330 L/s
• 泵类型：涡旋分子泵
• 泵重量：约 70 kg
• 泵高：约 510 mm
• 泵直径：约 255 mm
• 泵进口口径：DN 63 ISO-K
• 泵出口口径：DN 16 ISO-KF

产品规格

• 最大气体吸收量：3.3 × 10^-2 mbar l/s
• 最大气体耗散量：5.0 × 10^-8 mbar l/s
• 进气口最大允许压力：1.2 × 10^3 Pa
• 加热温度：60 ℃
• 运行温度范围：10 ℃ – 40 ℃

应用领域

LEYBOLD CM330 涡旋分子泵主要用于以下领域：

• 半导体制造
• 光学镀膜
• 光刻机
• 真空冶金

产品使用说明

• 在使用之前，请先阅读产品手册并按照说明操作。
• 在安装涡旋分子泵时，请确保其垂直安装。
• 在使用涡旋分子泵时，请勿将其用于氧气或氧化性气体的抽取。
• 在清洁涡旋分子泵时，请勿使用含有酸性或碱性物质的清洁剂。

产品介绍

LEYBOLD CM330 涡旋分子泵是一款高效、可靠的真空泵，适用于半导体、光学镀膜、光刻机和真空冶金等领域。它具有高泵速、低气体吸收量和耗散量、低振动和噪音等优点。

技术说明

LEYBOLD CM330 涡旋分子泵的主要技术参数如下：

• 泵速：330 L/s
• 泵类型：涡旋分子泵
• 最大气体吸收量：3.3 × 10^-2 mbar l/s
• 最大气体耗散量：5.0 × 10^-8 mbar l/s
• 进气口最大允许压力：1.2 × 10^3 Pa
• 加热温度：60 ℃
• 泵重量：约 70 kg
• 泵高：约 510 mm
• 泵直径：约 255 mm
• 泵进口口径：DN 63 ISO-K
• 泵出口口径：DN 16 ISO-KF

货期问题

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