RPS MKS AX-7670 0190-47768 AMAT HDP CVD RKS 控制系统

描述

RPS MKS AX-7670 0190-47768 AMAT HDP CVD RKS控制系统

产品介绍

RPS MKS AX-7670 0190-47768 AMAT HDP CVD RKS是一款高品质的反应控制系统，适用于化学气相沉积反应中的流量控制和压力控制。该系统采用先进的技术，确保了高精度和可靠性。

技术说明

RPS MKS AX-7670 0190-47768 AMAT HDP CVD RKS采用多种先进的技术，包括数字信号处理、PID控制和高精度传感器。它可以实时监测和控制反应中的流量和压力，从而实现对反应过程的精确控制。

产品说明

RPS MKS AX-7670 0190-47768 AMAT HDP CVD RKS由高精度传感器、控制器和软件组成。该系统可以实现对反应过程中多种气体的流量和压力控制，并提供实时数据记录和远程监控功能。

产品参数

• 流量范围：0~1000sccm
• 压力范围：0~1000Torr
• 精度：±0.5%
• 
• 响应时间：<50ms
• 通讯接口：RS232/RS485

产品规格

• 尺寸：200mm x 100mm x 50mm
• 重量：1kg
• 电源：AC 100~240V，50/60Hz

应用领域

RPS MKS AX-7670 0190-47768 AMAT HDP CVD RKS广泛应用于化学气相沉积反应控制，在半导体、光电子、太阳能等领域具有重要的应用价值。

常见问题解答

1. Q: 如何安装RPS MKS AX-7670 0190-47768 AMAT HDP CVD RKS？ A: 请参考产品说明书进行安装。
2. Q: 如何进行系统校准？ A: 请参考产品说明书进行校准。
3. Q: 如何进行数据记录和远程监控？ A: 请使用提供的软件进行数据记录和远程监控。
4. Q: 是否支持多种气体控制？ A: 是的，RPS MKS AX-7670 0190-47768 AMAT HDP CVD RKS可以实现对反应过程中多种气体的流量和压力控制。

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