Alcatel CF2P是一款高真空冷阴极潘宁(Penning)真空计,主要用于测量高真空环境下的压力。它由法国阿尔卡特朗讯公司(现已被收购)研发制造,以其高精度、稳定性以及宽测量范围而著称。
主要特点
高精度测量:CF2P能够在极高的真空度下提供精确的压力测量,适用于对真空度要求极高的应用场景。
宽测量范围:CF2P的测量范围通常覆盖10⁻⁷到10³mbar,能够适应各种真空系统的需求。
稳定性高:采用冷阴极设计,具有较高的稳定性和可靠性。
结构紧凑:设计紧凑,易于安装和维护。
耐用性强:适用于恶劣的工业环境。
工作原理
CF2P真空计的工作原理基于潘宁效应。在高电压的作用下,电子在磁场中运动,与气体分子碰撞产生离子。通过测量离子流强度,可以计算出气体的压力。
应用领域
半导体制造:用于控制和监测半导体制造过程中的真空度。
真空镀膜:用于控制薄膜沉积过程中的真空度。
科研实验:用于各种需要高真空的科研实验。
真空冶炼:用于控制真空冶炼过程中的真空度。
技术参数
测量范围:10⁻⁷至10³mbar
精度:±2%FS
响应时间:毫秒级
工作电压:根据型号不同而异
工作温度:-20℃至+70℃
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