AMAT 0190-72680是Applied Materials（应用材料）公司生产的一款电容式压力传感器，通常用于半导体制造设备中测量低压气体。它具有高精度、快速响应和耐用性等特点，广泛应用于半导体制造过程中的各种工艺环节。

主要功能

压力测量:高精度测量低压气体压力，通常用于测量真空腔室内的压力。

过程控制:将测得的压力数据反馈给控制系统，实现对工艺过程的精确控制。

技术参数

测量范围:0-10 Torr

精度:±0.5%FS

响应时间:毫秒级

输出信号:模拟信号（如4-20mA）或数字信号

工作温度范围:-20°C至+60°C

连接方式:电缆连接

应用领域

半导体制造:用于半导体制造过程中的各种工艺环节，如沉积、刻蚀、清洗等。

真空技术:用于真空系统中的压力测量。

科研实验:用于科研实验中的压力测量。

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